[发明专利]金属图案形成用转印膜及金属图案形成方法无效
| 申请号： | 200810172562.9 | 申请日： | 2008-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN101425441A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 桑田博昭;山下隆德;井上靖健;川岸诚治 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 左嘉勋;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属图案形成用转印膜，该金属图案形成用转印膜是在支持膜上按抗蚀剂层、厚为1～20μm的金属层以及玻璃浆料层的顺序层叠而成的，且所述玻璃浆料层含有玻璃粉末和粘结树脂，该粘结树脂来自具有亲水性基团的单体的构成成分为5质量％以下；本发明还提供形成这些层而进行的金属图案形成方法。根据本发明的金属图案形成用转印膜和金属图案形成方法，可以制造电阻低的电极，进而在显影工序中，能够维持FPD部件的透明性，能够阻止金属箔从玻璃浆料层剥离，此外在蚀刻工序中，能够防止抗蚀剂层从金属箔脱离。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 图案 形成 用转印膜 方法 | ||
【主权项】：
1、一种金属图案形成用转印膜，其特征在于，在支持膜上按(A)抗蚀剂层、(B)厚为1～20μm的金属层以及(C)玻璃浆料层的顺序层叠而成，其中，所述(C)玻璃浆料层用(C’)玻璃浆料形成，该(C’)玻璃浆料含有(a)玻璃粉末和(b)粘结树脂，该粘结树脂来自具有亲水性基团的单体的构成成分为5质量％以下。
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