[发明专利]微型显示器的制作方法

摘要

一种微型显示器的制作方法，其是先提供具有像素区与周边电路区的基底，其中像素区已形成有金属反射层，且周边电路区已形成有周边电路。然后，在基底上形成介电层，以覆盖像素区与周边电路区。接着，在介电层上形成图案化掩模层，此图案化掩模层暴露出位于金属反射层上方的介电层。而后，以图案化掩模层为掩模，移除暴露出的介电层的一部分。继之，移除图案化掩模层。之后，移除部分介电层，以暴露出金属反射层。

主权项

一种微型显示器的制作方法，包括：提供基底，该基底具有像素区与周边电路区，其中该像素区已形成有金属反射层，且该周边电路区已形成有周边电路；于该基底上形成介电层，以覆盖该像素区与该周边电路区；于该介电层上形成图案化掩模层，该图案化掩模层暴露出位于该金属反射层上方的该介电层；以该图案化掩模层为掩模，移除暴露出的该介电层的一部分；移除该图案化掩模层；以及移除部分该介电层，以暴露出该金属反射层。