[发明专利]接合体的剥离方法无效

专利信息
申请号: 200810176390.2 申请日: 2008-11-25
公开(公告)号: CN101444785A 公开(公告)日: 2009-06-03
发明(设计)人: 佐藤充;山本隆智;足助慎太郎;森义明;五味一博 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: B09B3/00 分类号: B09B3/00;B29B17/02;H01L21/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李贵亮
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种在隔着接合膜接合2个构件之间而成的接合体中,能够利用容易的方法而且有效地剥离2个构件之间的接合体的剥离方法。在本发明的接合体的剥离方法中,在第1基材(21)与第2基材(22)隔着含有硅酮材料的接合膜(3)接合而成的接合体(1)中,向接合膜(3)赋予剥离用能量,切断构成所述硅酮材料的分子键的一部分,由此在接合膜(3)内产生分裂,从第1基材(21)上剥离第2基材(22)。
搜索关键词: 接合 剥离 方法
【主权项】:
1. 一种接合体的剥离方法,其特征在于,在第1基材与第2基材隔着含有硅酮材料的接合膜接合而成的接合体中,向所述接合膜赋予剥离用能量,切断构成所述硅酮材料的分子键的一部分,由此在所述接合膜内产生分裂,从所述第1基材剥离所述第2基材。
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