[发明专利]图案检查装置

摘要

本发明提供一种图案检查装置，其不会降低图案检查的处理量，可进行反射照明机构的照度测定，且不会遗漏凹坑的存在。该图案检查装置，其摄像单元(51)于工件(W)的宽度方向进行扫描，以摄像单元接收被反射照明机构(21)照明了的配线图案像，以未图示的控制部予以存储。另外，来自于反射照明机构的照明光被反射构件(反射镜)(60)反射，以摄像单元接收。控制部将反射构件的反射光进行图像处理，求出辉度，将此辉度与下限值进行比较，若比下限照度的辉度低的话，则视为反射照明光的照度降低，控制部停止装置运作，进行警报等的故障显示。另外，若反射构件的辉度为下限照度的辉度以上的话，控制部(4)进行所拍摄的配线图案的检查。

主权项

1. 一种图案检查装置，其特征为：具备：对形成有图案的工件照射反射照明光的反射照明机构；对被上述反射照明机构照明了的上述图案进行摄像的摄像机构；及保持工件的工件保持机构，在上述摄像机构的视野内，设有：将来自上述反射照明机构的光朝摄像机构进行反射的反射构件。