[发明专利]微型加热器及其制造方法以及形成图案的方法

摘要

本发明公开了微型加热器及其制造方法以及形成图案的方法。示例性实施例涉及微型加热器、微型加热器阵列、该微型加热器的制造方法以及采用微型加热器形成图案的方法。根据示例性实施例的微型加热器可以包括形成于基板上的金属图案。支撑件可以在金属图案的下面形成，支撑件将金属图案固定到基板同时将金属图案与基板间隔开。间隔物可以在基板上形成并且邻近基板，从基板到间隔物的顶表面的第一距离大于从基板到金属图案的顶表面的第二距离。微型加热器与设置在金属图案上面的目标基板之间的距离可以通过间隔物控制，从而允许在目标基板上形成较精细的图案。

主权项

1.一种微型加热器，包括：基板上的金属图案；支撑件，在所述金属图案的下面，所述支撑件将所述金属图案固定到所述基板同时将所述金属图案与所述基板间隔开；以及间隔物，在所述基板上并邻近所述金属图案，从所述基板到所述间隔物的顶表面的第一距离大于从所述基板到所述金属图案的顶表面的第二距离。