[发明专利]关键工艺参数的提取有效
| 申请号： | 200810181222.2 | 申请日： | 2008-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN101504543A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 林俊贤;柯俊成;左克伟;罗冠腾;汪青蓉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01L21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及关键工艺参数的提取，提供了一种系统、方法与计算机可读取媒体，以用来提取与选出的装置参数有关的关键工艺参数。在一实施例中，使用基因地图分析来确定关键工艺参数。基因地图分析包括将高度相关的工艺参数分组，并确定群组与选出的装置参数的相关性。在一实施例中，与选出的装置参数有最大相关性的群组会被显示在相关性矩阵和/或基因地图中。 | ||
| 搜索关键词： | 关键 工艺 参数 提取 | ||
【主权项】：
1. 一种提取工艺参数的方法，包括：选出一装置参数；收集工艺数据，其中所述工艺数据包括时序工艺数据，且其中所述工艺数据包括与多个工艺参数有关的数值；总结所述时序工艺数据；以及进行一相关性分析，其中所述相关性分析识别出包含于所述多个工艺参数的一关键工艺参数，其中所述关键工艺参数与选出的装置参数有关，且其中所述相关性分析包括产生用于选出的装置参数的一基因地图。
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