[发明专利]膜层平坦化的方法有效

专利信息
申请号: 200810183902.8 申请日: 2008-12-09
公开(公告)号: CN101754588A 公开(公告)日: 2010-06-23
发明(设计)人: 刘逸群;王定中;李永浚;宋尚霖;陈宗源;陈国庆 申请(专利权)人: 欣兴电子股份有限公司
主分类号: H05K3/28 分类号: H05K3/28;G03F7/20;G03F7/30
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周长兴
地址: 中国台湾桃*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种膜层平坦化的方法。首先,提供一线路板。线路板具有一介电层与一图案化线路层,其中介电层具有一表面,图案化线路层位于表面上。接着,形成一膜层于线路板上,其中膜层覆盖介电层的表面与图案化线路层。提供一离形膜于膜层的上方。之后,进行一第一热压合工艺,以使离形膜密合至膜层。
搜索关键词: 平坦 方法
【主权项】:
一种膜层平坦化的方法,包括:提供一线路板,该线路板具有一介电层与一图案化线路层,该介电层具有一表面,该图案化线路层位于该表面上;形成一膜层于该线路板上,其中该膜层覆盖该介电层的该表面与该图案化线路层;提供一离形膜于该膜层上;以及进行一第一热压合工艺,以使该离形膜密合至该膜层。
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