[发明专利]基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器无效
| 申请号： | 200810201242.1 | 申请日： | 2008-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN101387614A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;高阳;张俊峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微电子技术领域的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，从底层到顶层分别为硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层、加热电阻丝与梳状叉指电极、聚合物-碳黑混合物敏感膜，其中每一层直接覆盖在下一层的上面，所述硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层自下而上构成传感器的支撑结构。加热电阻丝可以大大提高气体解吸附的速度，从而有效地克服检测一次气体周期长的缺点，可以显著提高气敏微传感器的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 导电 聚合物 碳黑 颗粒 气敏微 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，其特征在于，从底层到顶层依次包括硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层、加热电阻丝与梳状叉指电极、聚合物-碳黑混合物敏感膜，其中每一层直接覆盖在下一层的上面，所述硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层自下而上构成传感器的支撑结构。
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