[发明专利]对位检测方法和对位检测装置无效
申请号: | 200810202473.4 | 申请日: | 2008-11-10 |
公开(公告)号: | CN101403829A | 公开(公告)日: | 2009-04-08 |
发明(设计)人: | 李英俊;张爱云 | 申请(专利权)人: | 友达光电(苏州)有限公司;友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;H05K13/08 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所 | 代理人: | 翟 羽 |
地址: | 215021江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种对位检测方法和对位检测装置。此对位检测方法包括对位芯片的芯片对准标记于透光基板的基板对准标记上;利用第一检测单元来穿透过芯片,而撷取芯片对准标记的位置;利用第二检测单元来穿透过透光基板,而撷取基板对准标记的位置;以及比对芯片对准标记的位置与基板对准标记的位置。本发明的对位检测方法和对位检测装置可确实地检测芯片是否准确地对位于透光基板上。 | ||
搜索关键词: | 对位 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种对位检测方法,其特征在于该对位检测方法包括:提供芯片,其中该芯片具有芯片对准标记;提供透光基板,其中该透光基板设有基板对准标记;对位该芯片的该芯片对准标记于该透光基板的该基板对准标记上;利用第一检测单元来穿透过该芯片,而撷取该芯片对准标记的位置;利用第二检测单元来穿透过该透光基板,而撷取该基板对准标记的位置;以及比对该芯片对准标记的位置与该基板对准标记的位置。
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