[发明专利]一种天线制造的三维光刻方法无效
申请号: | 200810204054.4 | 申请日: | 2008-12-04 |
公开(公告)号: | CN101752643A | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 宋玉明;欧立文;张新山;卢晓峰;戴丰;于松涛;唐永玲 | 申请(专利权)人: | 上海安费诺永亿通讯电子有限公司 |
主分类号: | H01Q1/00 | 分类号: | H01Q1/00;H01Q1/38;G03F7/00 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 夏平 |
地址: | 201108 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种天线制造的三维光刻方法,包括提供一基体结构件,基体结构件的表面形成导电层,导电层的外面形成感光油墨层,遮蔽,曝光,显影,蚀刻过程,特征为基体结构件为三维,并且形成的导电层,导电层外面的形成的感光油墨层,遮蔽和曝光过程都是对三维表面进行。本发明中,三维天线的图形可以一次形成,缩短生产周期,满足大批量生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 天线 制造 三维 光刻 方法 | ||
【主权项】:
一种天线制造的三维光刻方法,包括:提供基体结构件,在基体结构件的表面形成导电层,导电层的上面形成感光油墨层,以及遮蔽,曝光,显影,蚀刻过程,其特征在于:所述导电层形成在基体结构件的三维表面上,所述的感光油墨层形成在导电层的三维表面上,所述的遮蔽和曝光过程都是对感光油墨层的三维表面进行。
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