[发明专利]在半导体衬底中形成的螺旋电感以及形成该电感的方法有效
| 申请号： | 200810210288.X | 申请日： | 2004-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN101345242A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·B·哈里斯;斯蒂芬·W·唐尼 | 申请（专利权）人： | 艾格瑞系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/04 | 分类号： | H01L27/04;H01L27/08;H01L23/522;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杨国权 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 形成于半导体衬底上的电感，包括有源区器件区。该电感包括形成于该半导体衬底上覆盖的电介质层上的导线。该导线被构图并被蚀刻成所希望的形状，在一个实施例中为一个平面螺旋。在该电感下的衬底的一个区域被移除以降低电感的Q因子。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 衬底 形成 螺旋 电感 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件，包括：半导体衬底；形成于该半导体衬底中的多个有源区；覆盖该半导体衬底的电介质层；覆盖在该电介质层上的一个或多个导电互连层；形成于其中一个导电互连层中的连续导体；其中，该半导体衬底在该连续导体下方的一个区域中形成有第一开口，而且，该连续导体下方的一个或多个导电互连层中的至少一个在该连续导体下方的一个区域中形成有第二开口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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