[发明专利]基板清洗用双流体喷嘴无效
| 申请号： | 200810213317.8 | 申请日： | 2008-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101372001A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 金奭柱 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B7/04 | 分类号： | B05B7/04;B08B3/02;B08B3/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韩明星;金玉兰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板清洗用双流体喷嘴，该喷嘴包括：第一收容部及第二收容部，以用于分别收容互不相同的流体；用于移送收容于所述第一收容部的第一流体的第一通道，在其端部形成有喷射所述第一流体的第一喷射口；用于移送收容于所述第二收容部的第二流体的第二通道，在其端部形成有喷射所述第二流体的第二喷射口；双流体排出部，以用于排出由所述第一喷射口和第二喷射口喷射的流体相混合而生成的双流体；以及形成在所述第二喷射口的前端部的引导部，以用于将由所述第二喷射口喷射的所述第二流体的喷射方向引导至所述第一喷射口。根据本发明破碎成超微粒态液滴的清洗液和干燥空气混合而生成微细且均匀的双流体，从而可显著提高基板清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 双流 喷嘴 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗用双流体喷嘴，其特征在于包括：第一收容部及第二收容部，以用于分别收容互不相同的流体；用于移送收容于所述第一收容部的第一流体的第一通道，在其端部形成有喷射所述第一流体的第一喷射口；用于移送收容于所述第二收容部的第二流体的第二通道，在其端部形成有喷射所述第二流体的第二喷射口；双流体排出部，以用于排出由所述第一喷射口和第二喷射口喷射的流体相混合而生成的双流体；以及形成在所述第二喷射口的前端部的引导部，以用于将由所述第二喷射口喷射的所述第二流体的喷射方向引导至所述第一喷射口。
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