[发明专利]光学拾波器用波前测量装置

摘要

本发明提供一种在跟踪用副光束混在的状态下对从光学拾波器装置输出的主光束的波前测定能够容易且高精度地进行的光学拾波器用波前测量装置。在解析单元(31)设置图像处理部(34)及波前解析部(35)。图像处理部(34)被构成为：对由摄像相机(19)得到的干涉条纹图像进行滤波处理，而获得除去了与光束所包含的跟踪用副光束对应的频率成分的滤波处理后的干涉条纹图像，波前解析部(35)被构成为：基于滤波处理后的干涉条纹图像，进行光束所包含的主光束的波前解析。

主权项

1. 一种光学拾波器用波前测量装置，具备：光束分离单元，其将光学拾波器装置所输出的光束分离为被检光束和基准光束生成用光束；波前整形单元，其将上述基准光束生成用光束进行波前整形而转换成基准光束；合波单元，其将上述被检光束和上述基准光束互相合波而获得干涉光；干涉条纹图像取得单元，其基于由该合波单元获得的干涉光而获得载有上述光束的波前信息的干涉条纹图像；和解析单元，其基于由该干涉条纹图像取得单元获得的干涉条纹图像而进行上述光束的波前解析，上述解析单元，具备：图像处理部，其对由上述干涉条纹图像取得单元获得的干涉条纹图像，进行用于去除与上述光束所包含的跟踪用副光束对应的频率成分的滤波处理，获得该滤波处理后的干涉条纹图像；波前解析部，其基于上述滤波处理后的干涉条纹图像，对包含于上述光束的主光束进行波前解析。