[发明专利]加热装置有效
申请号: | 200810215336.4 | 申请日: | 2008-09-05 |
公开(公告)号: | CN101389161A | 公开(公告)日: | 2009-03-18 |
发明(设计)人: | 森冈育久;鹤田英芳;相原靖文 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H05B3/06 | 分类号: | H05B3/06;H05B3/28;H01L21/00;H01L21/316 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张敬强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及加热装置。提供能够在面内均匀地加热安装在加热面上的被加热物,并且可在较宽的温度范围内维持良好的均热性的加热装置。加热装置(10)具备:具有加热面(11a)、埋设有电阻发热体(12)的陶瓷基体(11)和接近该陶瓷基体(11)的背面(11b)安装固定的温度调节部件(21)。在该陶瓷基体(11)的加热面和电阻发热体(12)之间配置有具有导热率比陶瓷基体(11)的导热率更高的导热性部件(14)。在陶瓷基体(11)和温度调节部件(21)之间的间隙(31)压力可调地导入气体。 | ||
搜索关键词: | 加热 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种加热装置,其特征在于,具备:具有放置基板的加热面且由陶瓷构成的基体;埋设在该基体内部的发热体;设置在该基体的加热面和发热体之间,且具有比基体的导热率更高的导热率的导热性部件;以及,接近该基体的背面设置的温度调节部件,在该基体和温度调节部件之间具有空隙,可与可调节该空隙的气体压力地导入气体的气体导入装置连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本碍子株式会社,未经日本碍子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200810215336.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:用于综框的异型杆和承载器杆
- 下一篇:包括电联接装置的电池组及其制造方法