[发明专利]处理系统的控制装置、控制方法和存储媒体

摘要

本发明提供一种处理系统的控制装置、控制方法和存储媒体。处理系统(10)中具有PM1、PM2和LLM1、LLM2以及EC(200)和MC(100)。EC(200)控制处理系统内的晶片搬送和处理，EC(200)的搬送目的地决定部(255)决定晶片的搬送目的地，以顺序地将晶片搬送到正常PM中。保存部(260)在PM中发生异常的情况下，将异常PM决定为搬送目的地，而且将还没有搬入异常PM中的晶片暂时保存在盒放置台(CS)中。在重新决定保存晶片的搬送目的地的情况下，当在新的搬送目的地的PM中处理保存晶片之前实行的处理满足规定条件时，搬送禁止部(265)禁止将保存晶片搬送至新的搬送目的地。

主权项

1. 一种处理系统的控制装置，用于控制处理系统，该处理系统包括：对被处理体进行规定的处理的多个处理室；收纳被处理体的被处理体收纳港栈；和在所述多个处理室和所述被处理体收纳港栈之间将被处理体搬送至规定的搬送目的地的搬送机构，该处理系统的控制装置的特征在于，包括：搬送目的地决定部，其决定收纳在所述被处理体收纳港栈中的被处理体的搬送目的地，以将被处理体依次搬送至所述多个处理室中的正常工作的处理室；保存部，其在所述多个处理室的任何一个处于禁止被处理体的搬入的状态的情况下，其暂时在被处理体收纳港栈中保存将所述禁止搬入的处理室决定为搬送目的地且尚未搬入所述禁止搬入的处理室中的被处理体；以及搬送禁止部，在由所述搬送目的地决定部重新决定所述保存后的被处理体的搬送目的地的情况下，当在新的搬送目的地的处理室中，在处理所述保存后的被处理体之前实行的处理满足规定的条件时，禁止将所述保存后的被处理体搬送至新的搬送目的地。