[发明专利]掩膜版的显影方法有效
| 申请号： | 200810216716.X | 申请日： | 2008-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN101382742A | 公开（公告）日： | 2009-03-11 |
| 发明（设计）人： | 熊启龙 | 申请（专利权）人： | 清溢精密光电（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/32 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜版的显影方法，该方法包括以下步骤：将显影液加入药液槽中，并加热药液槽中的显影液，使其保持在恒定温度；将曝光好的掩膜版放入药液槽内，保持掩膜版在药液槽内液面以下；使掩膜版在液面以下移动，浸泡掩膜版于显影液中进行显影。该掩膜版的显影方法将掩膜版浸泡于恒温的药液槽显影液中，使掩膜版在显影液的液面以下移动，进行显影，整个显影过程操作简单易行，无需昂贵的自动化设备，由此大大降低工艺成本。而且，在显影过程中通过移动掩膜版，使显影过程中的掩膜版能和显影液一直保持反应，使显影图案线条精度达到预定要求。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 显影 方法 | ||
【主权项】：
1、一种掩膜版的显影方法，其包括以下步骤:将显影液加入药液槽中，并加热药液槽中的显影液使其保持在恒定温度；将曝光好的掩膜版放入药液槽内，保持掩膜版在药液槽内液面以下；使掩膜版在液面以下移动，浸泡掩膜版于显影液中进行显影。
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