[发明专利]电子超纯水的循环回用处理方法无效
申请号: | 200810217466.1 | 申请日: | 2008-11-14 |
公开(公告)号: | CN101423310A | 公开(公告)日: | 2009-05-06 |
发明(设计)人: | 钱志刚 | 申请(专利权)人: | 钱志刚 |
主分类号: | C02F9/08 | 分类号: | C02F9/08;C02F1/32;C02F1/72;C02F1/44;C02F1/42 |
代理公司: | 深圳市中知专利商标代理有限公司 | 代理人: | 吕晓蕾 |
地址: | 518053广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种所述的电子超纯水的循环回用处理方法,它属于水处理技术,它包括如下工艺步骤:首先经过超滤系统过滤脱除悬浮性杂质双氧水氧化分解:在上述超滤后的废水中中投加200-500ppm的双氧水;紫外线照射:将投入了双氧水的污染水通过紫外光照射反应装置,紫外光的波长范围是185-254nm,照射剂量是50-500J/m2,然后让污染水在水箱中停留20-60分钟;反渗透:将经过充分氧化降解处理的废水泵入反渗透膜模块或者纳滤装置中进行过滤;混床:将纳滤或反渗透处理后的水导入混床,脱除水中的带电离子等杂质。采用本发明与常规有臭氧参加氧化脱除TOC的方法相比,工艺方法安全、简洁,处理完毕的清洗水可以再次回用做高端电子产品纯水。 | ||
搜索关键词: | 电子 超纯水 循环 用处 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种电子超纯水的循环回用处理方法,其特征在于它包括如下工艺步骤:A:超滤:首先经过超滤系统过滤脱除悬浮性杂质除去其中的大颗粒固体悬浮物;B:双氧水氧化分解:在上述超滤后的废水中中投加200-500ppm的双氧水,氧化分解其中的有机物杂质;C:紫外线照射:将投入了双氧水的污染水通过紫外光照射反应装置,紫外光的波长范围是185-254nm,照射剂量是50-500J/m2,然后让污染水在水箱中停留20-60分钟;D:反渗透:将经过充分氧化降解处理的废水泵入反渗透膜装置中进行过滤,去除其中的大分子物质及溶解性盐等杂质;E:混床:将反渗透处理后的水导入混床,通过离子交换继续脱除水中的带电离子等杂质。
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