[发明专利]在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置及方法

摘要

本发明公开了一种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置及方法。该方法是将标准器件与被测器件置于可精确控制温度的具有光窗口的真空杜瓦内，光信号可以通过光窗口出入杜瓦，被测器件与标准器件进行对比即可得到被测器件光电参数。该装置及方法可以测试光电器件在一定高低温范围内的光电参数，采用了具有光窗口的真空杜瓦作为器件测试环境，将器件置于真空杜瓦内真空腔的热沉上，热沉与冷源和热源相连接，光电器件的输出信号线与腔外测试系统相连。利用本发明，降低了在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的复杂性，提高了测试的精确度，解决了温度过低时光窗口结霜的问题。

主权项

1、一种在特殊高低温条件下对光电器件进行测试的装置，其特征在于，该装置包括：杜瓦(1)；设置于该杜瓦正面的对测试波长透明的光窗口(2)；设置于该杜瓦内部的用于承载被测器件的热沉(3)，热沉(3)上设置有安装器件的插槽或插孔；设置于该杜瓦内部的一冷源(5)和一热源(6)；设置于该杜瓦底端的可打开和关闭的密封门(7)，用于器件的置入与取出；设置于该杜瓦顶端的一真空阀门(8)，打开后接通真空泵可将杜瓦(1)内抽真空，达到一定真空后阀门可关闭；设置于该杜瓦顶端的一真液氮阀门(9)，用于打开灌入液氮，同时控制液氮气化的快慢程度；被测器件的信号输入输出线(10)和温度控制线(11)，该信号输入输出线(10)与温度控制线(11)分开，并且用同轴线屏蔽线引出；以及温控仪(4)，具有精确的控温算法，温度控制线(11)和电加热器热阻丝的电源线经一真空接头与杜瓦内部热沉相连接。