[发明专利]水平测量装置及检测半导体传输系统中片盒水平度的方法无效
| 申请号： | 200810226663.X | 申请日： | 2008-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN101738177A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 韦磊 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00;G01C9/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水平测量装置及检测半导体传输系统中片盒水平度的方法。水平测量装置上的设有至少有3个压力传感器，其下端处于同一平面上。将水平测量装置放入半导体传输系统中片盒的插槽中，压力传感器的下端支撑在片盒的插槽中，当片盒及其插槽倾斜时，由于水平测量装置自身的重量，高侧的压力传感器与低侧的压力传感器会感触到不同的压力信号，可以根据不同压力传感器感触到的压力信号的不同，判断片盒的水平度。使用方便、测量精确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 测量 装置 检测 半导体 传输 系统 中片盒 方法 | ||
【主权项】：
一种水平测量装置，其特征在于，包括至少3个压力传感器，所述至少3个压力传感器的下端处于同一平面上。
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