[发明专利]提高三氟乙酸盐-金属有机沉积制备YBCO薄膜厚度的方法

摘要

本发明提供一种提高三氟乙酸盐-金属有机沉积法制备YBCO薄膜厚度的方法，本方法与传统方法的不同之处在于，在高温热处理之前，反复进行涂敷和低温热处理的步骤，以形成多层具有c轴排列取向的YBCO薄膜，从而提高了制备出YBCO涂层的厚度。利用本发明的方法可以制备出厚度超过1.5μm的YBCO薄膜，薄膜的临界电流与传统方法制备的YBCO薄膜相比获得大幅提高。

主权项

一种提高三氟乙酸盐-金属有机沉积法制备YBCO薄膜厚度的方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步骤，按照Y∶Ba∶Cu＝1∶2∶3的摩尔比例把Y(CH3COO)3、Ba(CH3COO)2和Cu(CH3COO)2混合，室温溶于含等当量三氟乙酸的去离子水中配成溶液；第二步骤，将上述溶液经回流均匀后，蒸发溶剂形成凝胶；第三步骤，将上述凝胶加入甲醇，制成Y、Ba和Cu三种金属离子总浓度为0.8mol/L-2.5mol/L的前驱液；第四步骤，将上述前驱液涂敷在单晶氧化物或其它适于制备高温超导薄膜的基片上；第五步骤，在400℃～410℃条件下进行低温热处理10-20小时，以分解三氟乙酸盐；第六步骤，在低温热处理后的基底上再次重复前述第四步骤；第七步骤，在400℃～410℃条件下再次进行低温热处理，分解三氟乙酸盐；第八步骤，重复第六、七步骤3～5次；第九步骤，在750～850℃条件下进行高温热处理，保温3-6小时合成四方相YBCO薄膜；第十步骤，炉冷至490℃～510℃时，在纯氧条件下对薄膜进行退火热处理0.5-2小时，制备成YBCO高温超导薄膜。