[实用新型]光罩盒及其限制件

摘要

本实用新型提供一种光罩盒，特别是有关于一种具有限制件的光罩盒。此光罩盒由上盖体与下盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩，并具有一支架与一限制件，支架装设于下盖体且具有一第一卡设部，此第一卡设部包含有至少一第一顶持面，而此限制件则包括有一座体以及一限位片，其中此座体以组装方式装设于光罩盒的支架内，并具有至少一第二卡设部，此第二卡设部包括至少一第二顶持面，而限位片则设置于座体上，用以固定并抵持光罩，当限制件的第二卡设部与支架的第一卡设部相互卡持时，第一顶持面与第二顶持面相互抵制，以避免限制件上下松动，并减少光罩与光罩盒的摩擦，进而减少尘粒形成而影响良率，使得光罩寿命得以提高。

主权项

1、一种光罩盒，其包含：一上盖体；一下盖体，用以与该上盖体组合，形成一内部空间可容纳一光罩；至少一支架，装设于该下盖体；以及至少一限制件；其特征在于，该支架具有至少一第一卡设部，该限制件具有至少一第二卡设部，该限制件是用以与该支架的第一卡设部相互卡持。