[实用新型]一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板

摘要

本实用新型涉及一种等离子体电极板，尤其涉及对薄膜的沉积提供进均匀进气匀气的一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板。是由下述结构构成：等离子体输出板、电极腔体，在电极腔体内设有匀气障板和电极匀气板，匀气障板设在电极腔体上的出气口处，出气口与进气管连接，射频电缆设在进气管上，电极匀气板将电极腔体隔离成第一匀气腔和第二匀气腔。本实用新型的优点效果：匀气障板缓冲了出气口的气体，使在第一匀气腔内产生均匀气场和高密度均匀等离子体，结构简单、便于批量生产和维护，提高了可靠性，降低了成本。

主权项

1、一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，包括等离子体输出板、电极腔体，其特征在于由下述结构构成：在电极腔体内设有匀气障板和电极匀气板，匀气障板设在电极腔体上的出气口处，出气口与进气管连接，射频电缆设在进气管上，电极匀气板将电极腔体隔离成第一匀气腔和第二匀气腔。