[实用新型]一种真空退火炉

摘要

本实用新型涉及热处理设备，具体地说是一种真空退火炉，包括工作台、电炉及石英管，在工作台上安装有电炉及进样室，石英管的一端伸入电炉内，另一端通过密封装置与进样室密封连通；进样室上连接有真空获得及测量系统；密封装置包括压盖及水冷腔组件，水冷腔组件套设于石英管上，水冷腔组件的一端与进样室密封连接，另一端密封连接有压盖；电炉上安装有移动装置，包括导轨、车轮、轴及轮架，电炉的下方通过支架连接有底板，在底板的下方安装有轮架，车轮通过轴安装在轮架上；工作台上铺设有导轨，电炉通过车轮与导轨配合连接可在工作台上往复移动。本实用新型具有高真空度，不必重复抽真空；既可以缓慢降温，也可将电炉推离石英管快速降温。

主权项

1. 一种真空退火炉，包括工作台、电炉及石英管，其特征在于：在工作台(3)上安装有电炉(1)及进样室(4)，石英管(2)的一端伸入电炉(1)内，另一端通过密封装置与进样室(4)密封连通；进样室(4)上连接有真空获得及测量系统。