[实用新型]多晶硅氯硅烷取样装置无效
申请号: | 200820061953.9 | 申请日: | 2008-01-23 |
公开(公告)号: | CN201163246Y | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
发明(设计)人: | 许跃勇;汪付祧 | 申请(专利权)人: | 乐山市永晟仪表阀门制造有限公司 |
主分类号: | G01N1/02 | 分类号: | G01N1/02;C01B33/107 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所 | 代理人: | 徐丰 |
地址: | 641000四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅氯硅烷取样装置,其特征在于:包括柜体,所述柜体通过隔板分为上下两层并设置有上下两扇柜门,上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出口、氮气出口和氮气入口,上层柜体内设置有位于隔板上的取样瓶、与取样瓶连接的流量计和膜片压力表,下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口、水冷入口和水冷出口,下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐,所述冷凝罐与2个样品入口、水冷入口和水冷出口同时通过管道连接;本实用新型操作简单,使用安全,外形简洁、美观,工作效率高,并将氮气吹扫、取样一体化设计,达到安全、方便、直观、高效的效果,且便于维护,使用寿命长等特点。 | ||
搜索关键词: | 多晶 硅烷 取样 装置 | ||
【主权项】:
1、一种多晶硅氯硅烷取样装置,其特征在于:包括柜体,所述柜体通过隔板(1)分为上下两层并设置有上下两扇柜门,上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出口(2)、氮气入口(3)和氮气出口(4),上层柜体内设置有位于隔板(1)上的取样瓶(5)、与取样瓶(5)连接的流量计(6)和膜片压力表(7),下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口(8)、水冷入口(9)和水冷出口(10),下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐(11),所述冷凝罐(11)与2个样品入口(8)、水冷入口(9)和水冷出口(10)同时通过管道连接。
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