[实用新型]多晶硅氯硅烷取样装置无效

专利信息
申请号: 200820061953.9 申请日: 2008-01-23
公开(公告)号: CN201163246Y 公开(公告)日: 2008-12-10
发明(设计)人: 许跃勇;汪付祧 申请(专利权)人: 乐山市永晟仪表阀门制造有限公司
主分类号: G01N1/02 分类号: G01N1/02;C01B33/107
代理公司: 成都天嘉专利事务所 代理人: 徐丰
地址: 641000四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅氯硅烷取样装置,其特征在于:包括柜体,所述柜体通过隔板分为上下两层并设置有上下两扇柜门,上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出口、氮气出口和氮气入口,上层柜体内设置有位于隔板上的取样瓶、与取样瓶连接的流量计和膜片压力表,下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口、水冷入口和水冷出口,下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐,所述冷凝罐与2个样品入口、水冷入口和水冷出口同时通过管道连接;本实用新型操作简单,使用安全,外形简洁、美观,工作效率高,并将氮气吹扫、取样一体化设计,达到安全、方便、直观、高效的效果,且便于维护,使用寿命长等特点。
搜索关键词: 多晶 硅烷 取样 装置
【主权项】:
1、一种多晶硅氯硅烷取样装置,其特征在于:包括柜体,所述柜体通过隔板(1)分为上下两层并设置有上下两扇柜门,上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出口(2)、氮气入口(3)和氮气出口(4),上层柜体内设置有位于隔板(1)上的取样瓶(5)、与取样瓶(5)连接的流量计(6)和膜片压力表(7),下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口(8)、水冷入口(9)和水冷出口(10),下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐(11),所述冷凝罐(11)与2个样品入口(8)、水冷入口(9)和水冷出口(10)同时通过管道连接。
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