[实用新型]感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置有效
申请号: | 200820063602.1 | 申请日: | 2008-05-30 |
公开(公告)号: | CN201241194Y | 公开(公告)日: | 2009-05-20 |
发明(设计)人: | 周世斌;石全洲;邓丽华;王国强;叶茂 | 申请(专利权)人: | 成都东骏激光有限责任公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 | 代理人: | 吴彦峰 |
地址: | 611630四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置,属于激光晶体结晶工艺学领域;包括底部的陶瓷托盘和垫板,陶瓷托盘上设有陶瓷保温筒,陶瓷保温筒外侧设有感应线圈,陶瓷保温筒内侧设有ZrO2保温砖,垫板上面设有铱坩埚,且铱坩埚位于ZrO2保温砖的内侧,铱坩埚内装有熔体,陶瓷保温筒和ZrO2保温砖上端设有带有观察口的上保温筒和陶瓷观察挡板,且陶瓷观察挡板位于上保温筒观察口的外侧,铱坩埚上方设有籽晶杆,籽晶杆下端装有籽晶,籽晶下端位于熔体的上方,且籽晶杆、籽晶均位于上保温筒的内侧;本实用新型具有结构简单、温场稳定、装调方便、铱坩埚挥发轻、铱坩埚表面不受污染、使用寿命长等优点,并且相对投入小、功率低、生长成本低。 | ||
搜索关键词: | 感应 加热 坩埚 提拉法 激光 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
1、一种感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置,其特征在于:包括底部的陶瓷托盘(12)和垫板(11),陶瓷托盘(12)上设有陶瓷保温筒(10),陶瓷保温筒(10)外侧设有感应线圈(8),陶瓷保温筒(10)内侧设有ZrO2保温砖(9),垫板(11)上面设有铱坩埚(7),且铱坩埚(7)位于ZrO2保温砖(9)的内侧,铱坩埚(7)内装有熔体(4),陶瓷保温筒(10)和ZrO2保温砖(9)上端设有带有观察口(13)的上保温筒(5)和陶瓷观察挡板(6),且陶瓷观察挡板(6)位于上保温筒观察口(13)的外侧,铱坩埚(7)上方设有籽晶杆(1),籽晶杆(1)下端装有籽晶(2),籽晶(2)下端位于熔体(4)的上方,且籽晶杆(1)、籽晶(2)均位于上保温筒(5)的内侧。
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