[实用新型]折合式真空装置

摘要

本实用新型公开了一种折合式真空装置，供至少一片基板输送通过，并包括：一个第一腔体单元、一个第二腔体单元、一个连接第一、二腔体单元的真空连接单元、多个第一靶材，及多个第二靶材。该第一腔体单元包括第一内壁与第一外壁，及多个形成在第一内壁与第一外壁间的第一腔室。该第二腔体单元包括第二内壁与第二外壁，及多个形成在第二内壁与第二外壁间的第二腔室。所述第一靶材分别安装在第一内壁或/及第一外壁上且连通第一腔室。所述第二靶材分别安装在第二内壁或/及第二外壁上且连通第二腔室。藉由第一、二腔体单元的对折连接，以及第一、二靶材的选择安装设计，能达到减少占用空间及生产效率高的功效。

主权项

1. 一种折合式真空装置，供至少一片基板输送通过，其特征在于包括：一个第一腔体单元、一个与第一腔体单元对应并列的第二腔体单元、一个连接第一腔体单元与第二腔体单元的真空连接单元、多个安装在第一腔体单元上的第一靶材，及多个安装在第二腔体单元上的第二靶材，该第一腔体单元包括内、外间隔相对的一片第一内壁与一片第一外壁、间隔相对地形成在第一内壁与第一外壁两端间的一个第一入口与一个第一出口，及多个彼此连接串列地形成在第一入口与第一出口间且供所述基板通过的第一腔室；该第二腔体单元包括内、外间隔相对的一片第二内壁与一片第二外壁、间隔相对地形成在第二内壁与第二外壁两端间的一个第二出口与一个第二入口，及多个彼此连接串列地形成在第二出口与第二入口间且供所述基板通过的第二腔室，该第二内壁邻近第一内壁，且第二外壁远离第一内壁；该真空连接单元包括一个安装在第一出口旁侧承接由第一出口输出的基板并转向送出的第一回转件，及一个安装在第二入口旁侧且将第一回转件送来的基板转向送入第二入口的第二回转件；所述第一靶材分别安装在第一内壁与第一外壁的其中一片壁上且连通第一腔室；及所述第二靶材分别安装在第二内壁与第二外壁的其中一片壁上且连通第二腔室。