[实用新型]一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮有效
| 申请号： | 200820124483.6 | 申请日： | 2008-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN201309966Y | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | 陈海滨;库黎明;葛钟;索思卓;黄军辉;张国栋;盛方毓;闫志瑞 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种12英寸硅片腐蚀机装硅片用花篮，它包括：(1)正四边形的花篮主体；(2)位于花篮主体上方、并与花蓝主体相接的支架，支架上装有用来防止腐蚀过程中硅片飘出花篮的阻挡杆。硅片采用横放的方式，每次花篮装一片硅片进行腐蚀，可以改善硅片TTV。花篮采用四个边中部各设一个支撑在硅片下方的支撑片，硅片和花篮采用点接触的方式，从而可以减少腐蚀过程中硅片与花篮的接触面积，让硅片腐蚀后减少硅片产生腐蚀印的几率。本实用新型结构简单，节约材料，同时制作工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 12 英寸 硅片 腐蚀 上装 花篮 | ||
【主权项】：
1.一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：它包括以下几部分：(1)正四边形的花篮主体；(2)位于花篮主体上方、并与花蓝主体相接的支架，支架上装有用来防止腐蚀过程中硅片飘出花篮的阻挡杆。
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