[实用新型]渐层薄膜厚度的真空镀膜装置无效
| 申请号： | 200820127854.6 | 申请日： | 2008-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN201254600Y | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 李原吉;林忠炫 | 申请（专利权）人： | 德胜真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其是包含一溅镀腔体、一传动系统以及一溅镀源，所述的传动系统设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具是可在所述的溅镀腔体的内部直线前进，所述的载具的顶面设有至少一个支撑件，所述的至少一个支撑件设有一固持部，所述的溅镀源设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，其具有一靶材料，所述的靶材料表面与所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是呈一不等距离的配置，如此当固持部夹持固定一被镀物以进行镀覆靶材料时，可在被镀物表面形成厚度不一致渐层薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于，其包括：一溅镀腔体；一传动系统，其设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具能够在所述的溅镀腔体的内部直线前进，所述的载具的顶面设有至少一个支撑件，所述的至少一个支撑件设有一固持部；以及一溅镀源，其设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，所述的溅镀源具有一靶材料，所述的靶材料具有一表面，所述的靶材料表面与所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是呈一不等距离的配置。
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