[实用新型]连续式外观多层镀膜设备无效
| 申请号： | 200820138068.6 | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN201284371Y | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 郑兆希;黄昌文 | 申请（专利权）人： | 向熙科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许 静 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续式外观多层镀膜设备，应用于工件外观多层镀膜环境中，该连续式外观多层镀膜设备包含：对工件的镀膜全采用物理性制程的多个腔体；用以隔离所述多个腔体并保证各腔体的真空度及/或洁净度的多个活动式闸门，设置于所述多个腔体的该些不同腔体之间；以及用于传送工件的载具，在保证腔体的真空度及/或洁净度的前提下，可活动地穿设于该些不同腔体之间。对工件外观进行多层镀膜时，该连续式外观多层镀膜设备排列呈直线及/或呈U型及/或为环状排列，对于工件外观所需的所有膜层，全采用物理性制程，而完全不需要化学性制程。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 外观 多层 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种连续式外观多层镀膜设备，应用于工件外观多层镀膜环境中，其特征在于，该连续式外观多层镀膜设备包含：对工件的镀膜全采用物理性制程的多个腔体；用以隔离所述多个腔体并保证各腔体的真空度及/或洁净度的多个活动式闸门，设置于所述多个腔体的该些不同腔体之间；以及用于传送工件的载具，在保证腔体的真空度及/或洁净度的前提下，可活动地穿设于该些不同腔体之间。
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