[实用新型]多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构

摘要

本实用新型属于多晶硅提纯或铸锭领域，特别涉及一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构。其包括坩埚和平台，坩埚设于平台上面，在平台的上表面，从平台中心沿径向向外，开设有数条径向导流槽；围绕平台中心开设有数条纬向导流槽，径向导流槽和纬向导流槽相交成网状结构；在最外圈的纬向导流槽的边缘，开设有一个或多个导流口；平台底部的周边设有倒角；一环形凝固槽，其内周设于平台的下面倒角的里面，其外周延伸到平台的外面。由于平台上设有导流槽，平台下面设有凝固槽，一旦坩埚损坏导致硅液泄漏，泄漏的硅液全部可以通过平台上的导流槽而流入凝固槽内，所以彻底避免了各种危险情况的发生。

主权项

1.一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，包括坩埚和平台，坩埚设于平台上面，其特征在于：在平台的上表面，从平台中心沿径向向外，开设有数条径向导流槽；围绕平台中心开设有数条纬向导流槽，径向导流槽和纬向导流槽相交成网状结构；在最外圈的纬向导流槽的边缘，开设有一个或多个导流口，从坩埚流到平台上的硅液由此处流走；平台底部的周边设有倒角，倒角可防止硅液流向平台底面；一环形凝固槽，其内周设于平台的下面倒角的里面，其外周延伸到平台的外面，从导流槽流出硅液，无论是否从导流口流出，均应能直接流入该凝固槽内，从倒角滴下的硅液也能够落入凝固槽内。