[实用新型]传感器支承板有效
| 申请号： | 200820155354.3 | 申请日： | 2008-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN201298074Y | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 陈涛;文关权;王利 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481;G01S17/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种传感器支承板，在靠近所述传感器支承板一端设有用于固定传感器的第一开孔，在靠近所述传感器支承板的另一端上设有至少一个将所述传感器支承板固定于机台的第二开孔，所述第二开孔在纵向方向延伸形成，所述开孔在纵向方向延伸形成的形状可以为圆孔延伸形成，或者呈椭圆状、或者呈长方形状。与现有技术相比，本实用新型的传感器支承板可以根据生产线上不同待测工件的结构而调整传感器支承板的位置，使得传感器处于正对待测工件没有间隙或者间隙比较小的正下方位置，避免所述传感器发射出去的光直接发射出去，从而有效检测到待测工件，调整方便，可广泛应用在生产类似结构的其他产品的生产线上。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 支承 | ||
【主权项】：
1. 一种传感器支承板，在靠近所述传感器支承板的一端设有用于固定传感器的第一开孔，在靠近所述传感器支承板的另一端上设有至少一个将所述传感器支承板固定于机台的第二开孔，其特征在于：所述第二开孔在纵向方向延伸形成。
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