[实用新型]一种偏压式等离子源以及包含其的等离子处理机构无效
| 申请号： | 200820176675.1 | 申请日： | 2008-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN201294215Y | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 林伟德;罗顺远;刘家齐;吕练勤;蔡振源;詹信义;陈照奕;吴祐安 | 申请（专利权）人： | 富临科技工程股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/32;H01L21/00;H05H1/46 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种偏压式等离子源以及包含其的等离子处理机构，其有关一种偏压式等离子源，其包括：一电极盘、一支撑体、一旋转连接器、以及一导线。其中，电极盘配置于支撑体上方，旋转连接器配置于支撑体下方，且导线将旋转连接器以及电极盘电性连接。本实用新型亦有关一种包含上述偏压式等离子源的等离子处理机构，其偏压式等离子源的电极盘可旋转，因此当使用于等离子处理机构中时，可达到反应腔内增进气场均匀分布的效用，进而增加等离子处理的效能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏压 离子源 以及 包含 等离子 处理 机构 | ||
【主权项】：
1、一种偏压式等离子源，其特征在于包括：一支撑体；一电极盘，系配置于该支撑体上方；一旋转连接器，系配置于该支撑体下方；以及一导线，系将该旋转连接器以及该电极盘电性连接。
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