[实用新型]一种XY定位平台装置有效
申请号: | 200820214135.8 | 申请日: | 2008-11-28 |
公开(公告)号: | CN201373219Y | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
发明(设计)人: | 林琳 | 申请(专利权)人: | 清溢精密光电(深圳)有限公司 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;G01D11/00 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 518057广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型适用于超精密定位设备领域,提供了一种XY定位平台装置,包括安装基座和装置在安装基座上的相互垂直运动的Y平台和XY平台,所述Y平台和XY平台均开设有供透射光或背光照明光通过的透光开口,所述Y平台设有X导轨,所述XY平台中置于X导轨上。采用以上技术方案后,Y平台和XY平台开设的透光开口可以使光线顺利通过,可满足某些生产的需要;XY定位平台装置设有的XY平台中置安装于Y平台上,可使XY平台和Y平台受力平均,重心不再偏置,从而有效的解决了XY定位平台重心远离Y平台导轨导致局部微观偏摆较大、精度下降的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 xy 定位 平台 装置 | ||
【主权项】:
1、一种XY定位平台装置,包括安装基座和装置在安装基座上的相互垂直运动的Y平台和XY平台,其特征在于:所述Y平台和XY平台均开设有供透射光或背光照明光通过的透光开口,所述Y平台设有X导轨,所述XY平台中置于所述X导轨上。
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