[实用新型]一种欧姆接触式射频开关有效
申请号: | 200820233705.8 | 申请日: | 2008-12-19 |
公开(公告)号: | CN201518299U | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 刘泽文;侯智昊;李志坚;刘红超 | 申请(专利权)人: | 清华大学;上海得倍电子技术有限公司 |
主分类号: | H01H59/00 | 分类号: | H01H59/00;H01P1/10 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王朋飞 |
地址: | 100084 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种欧姆接触式射频开关,包括信号电极、下电极、衬底及固定端固支于所述信号电极的悬臂梁,还包括斜拉梁,所述斜拉梁与所述悬臂梁的自由端连接,并通过锚点固支于所述衬底。采用本实用新型的技术方案,在RF开关的悬臂梁自由端加入斜拉梁,形成非对称桥式结构,使之同时具备金属膜桥式电容耦合RF开关对应力敏感度低和悬臂梁欧姆接触式RF开关可应用于较低频段的优点,从而提高欧姆接触式开关的成品率和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 欧姆 接触 射频 开关 | ||
【主权项】:
一种欧姆接触式射频开关,包括信号电极、下电极、衬底及固定端固支于所述信号电极的悬臂梁,其特征在于,还包括斜拉梁,所述斜拉梁与所述悬臂梁的自由端连接,并通过锚点固支于所述衬底。
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