[发明专利]形成多种尺寸光电器件的生产线模块无效
| 申请号： | 200880000176.X | 申请日： | 2008-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101541486A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·Z·巴克拉克;蔡用起;崔寿永;尼古拉斯·G·J·德弗里;雅科夫·埃尔格;埃里克·A·恩格尔哈特;米歇尔·R弗赖;查尔斯·盖伊;帕里斯·霍金斯;乔伊·胡;詹姆斯·克雷格·亨特;潘查拉·N·坎卡纳拉;李利伟;温·胡·罗;丹尼·卡姆·托恩·鲁;方·梅;斯蒂芬·P·墨菲;斯鲁杰尔·帕特尔;马修·J·B·桑德斯;阿萨夫·施莱辛格;舒然·沈;苏杰发;杰弗里·S·沙利文;戴维·坦纳;特雷莎·特罗布里奇;布赖斯·沃克;约翰·M·怀特;泰·K·王 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B26D3/06 | 分类号： | B26D3/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明一般涉及到划分定位在自动化太阳能器件制造系统内的划分模块。该太阳能电池器件制造系统适合于接收单个大基板和由该单个大基板形成多个硅薄膜太阳能电池器件。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 多种 尺寸 光电 器件 生产线 模块 | ||
【主权项】：
1.一种用于划分太阳能电池器件的模块，其包括入料传送器，其被构成为接收自系统控制器的指令并将太阳能电池器件传输到模块的划片台；划片机械装置，其被构成为接收自系统控制器的指令并将图案划到太阳能电池器件的第一表面中；第一定位机械装置，其被构成为接收自系统控制器的指令并在第一破裂机械装置上方精确定位被划线的太阳能电池器件；和第一致动器，其被构成为接收自系统控制器的指令并升高第一破裂机械装置。
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