[发明专利]传送腔室接口用的漂浮狭缝阀

摘要

本发明一般包括用于与一腔室相接的浮动(floating)狭缝阀。一浮动狭缝阀是相对于另一对象(例如腔室)而移动或「浮动(float)」。狭缝阀可耦接于二腔室之间。当耦接至狭缝阀的腔室加热时，狭缝阀亦可因传导而加热。当狭缝阀加热时，其可能会产生热膨胀。当腔室抽成真空时，狭缝阀可能因为真空偏差而变形。通过在腔室及狭缝阀之间放置一个低摩擦物质间隔物，则在热膨胀/收缩及/或真空偏差期间，狭缝阀不会磨抵腔室，因此，不会产生不期望的微粒污染物。另外，用于将狭缝阀耦接至腔室且钻设于腔室的狭孔的尺寸设计是可容纳狭缝阀的热膨胀/收缩及/或真空偏差。

主权项

1.一种狭缝阀，包括：狭缝阀主体，具有穿设于其中的开口，该开口的尺寸是允许基板通过该开口，该主体还具有第一沟槽，该第一沟槽刻设(carved)于该主体的表面内，并环绕该开口，该主体亦具有数个第二沟槽，该些第二沟槽亦刻设于与该第一沟槽相同的该主体的该表面内，该些第二沟槽设置于该第一沟槽的径向外侧，该些第二沟槽沿着实质线形路径延伸；以及一或多个间隔物组件，设置于该些第二沟槽的至少其中之一内。