[发明专利]用于保持和移动电子器件、尤其是IC的柱塞有效
| 申请号： | 200880008015.5 | 申请日： | 2008-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN101646953A | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | M·绍勒;S·蒂尔;F·皮希尔;G·耶泽尔;A·维斯伯克;A·鲍尔 | 申请（专利权）人： | 马尔帝电子系统有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 谢志刚 |
| 地址： | 德国罗*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 用于保持和向一与测试装置连接的接触装置或离开该接触装置移动电子器件、尤其是IC’s的柱塞，该柱塞具有头部部件(10)，该头部部件具有由经调温的流体流动通过的流体分配室(18)，在其中设置吸头(15)，由此使经调温的流体绕流吸头(15)并沿着吸头(15)被引导到所述器件(3)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 保持 移动 电子器件 尤其是 ic 柱塞 | ||
【主权项】：
1.一种用于保持和向一与测试装置连接的接触装置或离开该接触装置移动电子器件、尤其是IC’s的柱塞，该柱塞具有-头部部件(10)-设置在头部部件(10)内的用于吸持器件(3)的吸头(15)，-用于利用流体对保持在吸头(15)上的器件(3)调温的调温装置，其特征在于，所述头部部件(10)具有由经调温的流体流动通过的流体分配室(18)，在流体分配室中设置吸头(15)，由此使经调温的流体绕流吸头(15)并且沿着吸头(15)被继续引导到所述器件。
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