[发明专利]铜电解液和使用该铜电解液得到的两层挠性基板无效

专利信息
申请号: 200880008056.4 申请日: 2008-03-05
公开(公告)号: CN101636527A 公开(公告)日: 2010-01-27
发明(设计)人: 花房干夫 申请(专利权)人: 日矿金属株式会社
主分类号: C25D3/38 分类号: C25D3/38;C25D7/00;H05K1/03;H05K1/09;H01L21/60
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 段承恩;田 欣
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的课题在于提供一种耐折性、蚀刻特性、与抗蚀剂的粘合性优异、没有表面缺陷的两层挠性基板。提供了一种铜电解液,其特征在于,作为添加剂含有氯离子、硫类有机化合物、聚乙二醇,优选含有5~200ppm的氯离子、2~1000ppm的硫类有机化合物、5~1500ppm的聚乙二醇。还提供了一种两层挠性基板,是使用了该铜电解液设置了铜层的两层挠性基板,其特征在于,MIT特性在100次以上,铜层的表面粗糙度Rz为1.4~3.0μm。
搜索关键词: 电解液 使用 得到 两层挠性基板
【主权项】:
1.一种铜电解液,其特征在于,作为添加剂含有氯离子、硫类有机化合物和聚乙二醇。
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