[发明专利]铜电解液和使用该铜电解液得到的两层挠性基板无效
申请号: | 200880008056.4 | 申请日: | 2008-03-05 |
公开(公告)号: | CN101636527A | 公开(公告)日: | 2010-01-27 |
发明(设计)人: | 花房干夫 | 申请(专利权)人: | 日矿金属株式会社 |
主分类号: | C25D3/38 | 分类号: | C25D3/38;C25D7/00;H05K1/03;H05K1/09;H01L21/60 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 段承恩;田 欣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的课题在于提供一种耐折性、蚀刻特性、与抗蚀剂的粘合性优异、没有表面缺陷的两层挠性基板。提供了一种铜电解液,其特征在于,作为添加剂含有氯离子、硫类有机化合物、聚乙二醇,优选含有5~200ppm的氯离子、2~1000ppm的硫类有机化合物、5~1500ppm的聚乙二醇。还提供了一种两层挠性基板,是使用了该铜电解液设置了铜层的两层挠性基板,其特征在于,MIT特性在100次以上,铜层的表面粗糙度Rz为1.4~3.0μm。 | ||
搜索关键词: | 电解液 使用 得到 两层挠性基板 | ||
【主权项】:
1.一种铜电解液,其特征在于,作为添加剂含有氯离子、硫类有机化合物和聚乙二醇。
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