[发明专利]连接用板、探针卡及设有探针卡的电子元件测试装置无效
| 申请号： | 200880009631.2 | 申请日： | 2008-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN101663591A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 阿部义弘;石川贵治;岛崎宜昭;松村茂 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 高占元 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 探针卡(50A)具备：与半导体晶片(W)上制作的IC器件的输入输出端子电接触的探针(60)；装有探针(60)的安装基底(51)；支承安装基底(51)的支柱(53)；具有经由接合线(52)与探针(60)电连接的布线图案的布线基板(55)；以及用以增强探针卡(50A)的基部构件(56)及加固件(57)。安装基底(51)与布线基板(55)不相接触。 | ||
| 搜索关键词： | 连接 探针 设有 电子元件 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种连接用板，用于在测试被测试电子元件时电连接所述被测试电子元件和电子元件测试装置，其中，所述连接用板具备：与所述被测试电子元件的输入输出端子电接触的触头；装有所述触头的第1基板；以及具有与所述触头电连接的布线图案的第2基板，所述第1基板与所述第2基板不相接触。
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