[发明专利]改善链处理准确度的预测性脉冲触发的用法有效
| 申请号： | 200880012242.5 | 申请日： | 2008-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101682165A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 凯利·布鲁兰德;柯林特·凡德吉亚森 | 申请（专利权）人： | 伊雷克托科学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许 静 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种预测性脉冲触发方法，其在一链处理系统中促成精确触发一激光射束(100)。该预测性脉冲触发方法需要依据目标(106)和激光射束轴(108)的经估计的相对运动参数来触发该激光射束。相较于现有完全以测量为主的方法，预测性脉冲触发方法在定位准确度方面可达到六倍的改善效果。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 处理 准确度 预测 脉冲 触发 用法 | ||
【主权项】：
1.一种准确触发被导引激光脉冲来处理一目标样本的方法，这些激光脉冲沿着一射束轴传播而该目标样本被安置在一支撑台上，而且该射束轴与支撑台相对于彼此来移动用以藉由入射在该目标样本的指定位置上的激光脉冲来处理这些指定位置，其包括：在多个时间位移测量区间处决定该射束轴与该支撑台之间的对应相对位置；选择对应于该射束轴与该支撑台之间的相对位置的该射束轴与该支撑台的相对移动速度；在连续的时间位移测量区间之间预测该射束轴相对于该支撑台的中间位置；以及响应于该选择速度和该经预测中间位置，而触发一激光脉冲，用以处理一指定的目标样本位置。
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