[发明专利]基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置

摘要

本发明提供一种基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置，该基板组装装置(20)包括支承台(21)和保持机构(22)。支承台(21)用来支承下侧基板(LW)，保持机构(22)包括保持面和功能性元件。上述保持面用来保持上侧基板(UW)的上表面，上述功能性元件设置在上述保持面上，其保持力会根据电压大小的改变而变化。上述保持机构会使上侧基板(UW)的下表面和被上述支承台(21)所支承的下侧基板(LW)的上表面面对。采用上述基板保持机构时，可以对作用给基板(UW)的保持力进行电气控制。可以有助于简化保持机构的结构。此外，由于可以平稳地改变作用给基板(UW)的保持力，所以也能够始终正常地保持或释放厚度较薄的基板。

主权项

1.一种基板保持机构，其特征在于：包括保持体和功能性元件，所述保持体具有用来保持基板的保持面，所述功能性元件设置在所述保持面上，其保持力会根据电压大小的改变而变化。