[发明专利]感光性树脂和微透镜的制造方法有效

专利信息
申请号: 200880013847.6 申请日: 2008-05-14
公开(公告)号: CN101669069A 公开(公告)日: 2010-03-10
发明(设计)人: 根木隆之;坂口崇洋;岸冈高广 申请(专利权)人: 日产化学工业株式会社
主分类号: G03F7/023 分类号: G03F7/023;G02B3/00;G03F7/004
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 段承恩;田 欣
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的课题是提供具有耐热性、高分辨率、高出光效率的微透镜用材料。作为本发明的解决问题的方法是,提供一种正型抗蚀剂组合物,含有碱溶性聚合物(A)和化合物(B),所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单元,所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团。该正型抗蚀剂组合物具有在波长633nm下折射率为1.6以上、在波长400~730nm下透射率为80%以上的涂膜物性。本发明还提供微透镜的制造方法,该制造方法包括将正型抗蚀剂组合物涂布在基板上,并进行干燥、曝光,然后进行显影的工序。
搜索关键词: 感光性 树脂 透镜 制造 方法
【主权项】:
1.一种正型抗蚀剂组合物,含有碱溶性聚合物(A)和化合物(B),所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单元,所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团。
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