[发明专利]光罩用基板、光罩用基板的成形构件、光罩用基板的制造方法、光罩、及使用光罩的曝光方法

摘要

本发明是厚度实质上均一的光罩用基板，其具备由连续曲面构成的、待形成光罩图案的第1面、及第2面。第1面呈由相对向的第1组的边、及相对向的第2组的边构成的四边形，沿着第1组的各边的端部具有支持部。以第1面实质上呈铅直状态的方式保持光罩用基板时，将与第1面中心点处的第1面的切平面平行的参照平面，定义在对光罩用基板而言比第2面接近第1面的一侧。此时，第1面的中心点与参照平面之间的沿着厚度方向的第1距离，短于第2组的各边的中点与参照平面之间的沿着厚度方向的第2距离。

主权项

1.一种光罩用基板，是由厚度实质上均一的板状构件构成的光罩用基板，其特征在于：具备由连续曲面构成的、待形成光罩图案的第1面、及与上述第1面相对向的第2面；上述第1面呈由相对向的一对第1组的边、及以连结该第1组的边的方式延伸的相对向的一对第2组的边构成的四边形，沿着上述第1组的各边的端部具有用以支持上述光罩用基板的支持部；以上述第1面实质上呈铅直状态的方式保持上述光罩用基板时，以通过上述光罩用基板的重心且延伸于上述光罩用基板的厚度方向的轴线与上述第1面相交的交点作为上述第1面的中心点；将与上述中心点处的上述第1面的切平面平行的参照平面，定义在对上述光罩用基板而言比上述第2面接近上述第1面的一侧时，上述第1面的中心点与上述参照平面之间的沿着上述厚度方向的第1距离，短于上述第2组的各边的中点与上述参照平面之间的沿着上述厚度方向的第2距离。