[发明专利]薄膜传送装置和卷绕式真空成膜方法有效
| 申请号： | 200880015976.9 | 申请日： | 2008-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN101680083A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 广野贵启;多田勲;中塚笃 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所 | 代理人： | 韩登营;栗 涛 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜传送装置和卷绕式真空成膜方法，其不仅实现了保护基膜的成膜区域的目的，还实现了可使基膜能够平稳地传送的目的。本发明中的卷绕式真空成膜装置(10)包括引导单元(20)，引导单元(20)包括导向辊(17A)和辅助辊(18)，导向辊(17A)具有用来支承基膜(F)的两个侧缘部的一对环形导向部(17b)，辅助辊(18)与导向辊(17A)以互相面对的方式设置，由辅助辊(18)将基膜(F)的两个侧缘部压向一对导向部(17b)，由此可以避免基膜(F)的成膜区域(Fc)接触到引导单元(20)的导向辊(17A)和辅助辊(18)的各个辊表面，因而可以实现保护成膜区域(Fc)的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 传送 装置 卷绕 真空 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在真空空腔内传送基膜的薄膜传送装置，其特征在于：包括卷放辊、卷收辊和传送机构，所述传送机构设置在所述卷放辊和所述卷收辊之间，并具有引导单元，所述引导单元包括导向辊和辅助辊，所述导向辊具有用来支承所述基膜的两个侧缘部的一对环形导向部，所述辅助辊与所述导向辊以互相面对的方式设置，由该辅助辊将所述基膜的两个侧缘部压向所述一对导向部。
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