[发明专利]将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施无效

专利信息
申请号: 200880016737.5 申请日: 2008-04-21
公开(公告)号: CN101821801A 公开(公告)日: 2010-09-01
发明(设计)人: P·卡尔 申请(专利权)人: 因特瓦克公司
主分类号: G11B5/72 分类号: G11B5/72;G11B5/84
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 陈珊;刘兴鹏
地址: 美国加*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施,包括装载和卸载真空锁,其中承载将用润滑剂涂层涂覆的硬磁盘的盒子被转动90°。润滑剂涂层在处理模块中同时沉积在多个硬磁盘上。承载硬磁盘的多个盒子同时定位于装载和卸载真空锁中。承载硬磁盘的多个盒子同时定位于装载真空锁和用来沉积润滑剂涂层的模块之间的缓冲地带中。
搜索关键词: 润滑剂 涂层 沉积 硬磁盘 设施
【主权项】:
一种将润滑剂涂层沉积在适合装载于盒子中的硬磁盘上用的设施,所述设施包括用来将盒子传送穿过一路径的装置,所述路径包括:(a)真空装载锁,(b)真空卸载锁,以及(c)用来将润滑剂蒸汽沉积到硬磁盘上的真空处理模块,所述处理模块布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑剂涂层,所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间,所述路径布置为至少一次将盒子转动大约90°。
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