[发明专利]用于减量系统的有效操作的方法与装置无效
| 申请号： | 200880017499.X | 申请日： | 2008-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN101678407A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·O·克拉克;罗伯特·M·韦尔穆伦;尤塞夫·A·罗德杰;贝琳达·弗利波;梅兰·莫莱姆;肖恩·W·克劳福德 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;钟 强 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种操作电子器件制造系统的方法，其包含下列步骤：利用接口接收信息，其中所述信息与减量系统相关；及响应于该信息关闭工艺工具及减量工具。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 系统 有效 操作 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种操作电子器件制造系统的方法，包含：利用接口接收信息，其中所述信息关于减量系统；以及响应于所述信息关闭工艺工具及减量工具。
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