[发明专利]光学元件保持装置、镜筒及曝光装置以及器件的制造方法有效
| 申请号： | 200880018232.2 | 申请日： | 2008-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN101681009A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 新井洋一 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G02B7/00;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 经志强;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 光学元件保持装置(29)具备：覆盖透镜(28)的外周侧部分的圆环状的振动衰减板(41)、由减振合金制成的用于将该振动衰减板相对于透镜(28)的表面以非接触的状态固定于框体上的连接构件(42)。由振动衰减板(41)、在该振动衰减板与透镜(28)的表面之间所形成的间隙(C)内存在的氮气构成挤压膜减震器。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 保持 装置 曝光 以及 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件保持装置，用于保持光学元件，其特征在于，具有振动衰减构件，其相对于所述光学元件的表面中的至少一部分表面以非接触的状态设置，使所述光学元件中产生的振动衰减。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康，未经株式会社尼康许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880018232.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
