[发明专利]正型感光性树脂组合物、以及使用该组合物形成固化膜的方法

摘要

本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其包含：树脂，以及在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物，其中所述树脂含有能够进行酸性解离基团的解离以形成羧基的特定的丙烯酸系构成单元、以及具有能够与该羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元，所述树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱。本发明还提供了使用该组合物形成固化膜的方法。所述正型感光性组合物具有优异的感光度、残膜率和储存稳定性，并且通过采用所述的使用该正型感光性树脂组合物形成固化膜的方法，可提供具有优异的耐热性、粘附性和透光度等的固化膜。

主权项

1.一种正型感光性树脂组合物，其至少包含：(A)树脂、以及(B)在受到光化射线或放射线的辐射时能够产生酸的化合物，其中所述树脂含有下式(1)所示的、具有酸解离性基团的构成单元，以及具有能够与羧基反应而形成共价键的官能团的构成单元，所述树脂不溶于碱或难溶于碱，并且当所述酸解离性基团发生解离时该树脂变得可溶于碱，其中R¹表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基；R²和R³各自独立地表示氢原子、直链或支链烷基、或环烷基，条件是R²和R³中至少一者表示直链或支链烷基、或环烷基；R⁴表示可被取代的直链或支链烷基、可被取代的环烷基、或可被取代的芳烷基；并且R²或R³可以与R⁴连接而形成环醚。