[发明专利]脉冲源的多路复用无效
| 申请号： | 200880018973.0 | 申请日： | 2008-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN101711376A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 彼得·丘 | 申请（专利权）人： | 内诺-UV公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00;G21K1/00 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;王艳春 |
| 地址： | 法国维尔*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种通过输出孔(5)生成输出辐射的设备(10)，所述设备(10)包括多个辐射源(11-14)和用于时间复用所述辐射源(11-14)的时间复用器(15)。每个辐射源包括等离子体(211)，在等离子体(211)中生成基本辐射并且根据波长选择性地偏移该基本辐射的射线。这种源具有小尺寸和小的光学扩展量。该设备例如可包括一百个或更多个辐射源。每个辐射源可用于生成动态修改的辐射图样(24，25，26)，或者用作取代故障源的备用源，或者用作仅当输出辐射的功率小于最小阈值时才生成辐射的辅助源。本发明还涉及由该设备执行的方法，以及包括该设备的光刻装置。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 多路复用 | ||
【主权项】：
一种通过输出孔(5)生成输出辐射的方法，所述方法包括：-由多个辐射源(11-14，20)生成脉冲辐射，每个源被设置为分别(i)在对应的等离子体(211)内生成对应的脉冲基本辐射，其波长包括对应的期望范围；(ii)将其对应的基本辐射的射线引导至所述输出孔(5)上；-对于每个源，在对应的基本辐射所通过且位于对应的等离子体(211)内的对应控制区域内分布射线的折射率，以根据波长选择性地偏移所述对应的基本辐射的射线；以及-时间复用所述辐射源，以在所述输出孔(5)处获得所述输出辐射。
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