[发明专利]用于提供平板显示器环境隔离的方法和设备无效
| 申请号： | 200880024416.X | 申请日： | 2008-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101743180A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 理查德·H·古尔德;安东尼·C·伯诺拉;迈克尔·克罗拉克 | 申请（专利权）人： | 村田自动化机械有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/86 | 分类号： | B65D85/86 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 田军锋;魏金霞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种用于支撑加工用的基板的容器。该容器包括底部、顶部及连接底部和顶部的侧板。容器中设有支撑结构。该支撑结构构造成支撑容器内的基板。支撑结构具有横贯容器宽度延伸的多行多个拉伸构件。每行的多拉伸构件构造成支撑一个基板，其中，一个侧板包括使得能够进入容器的可移动柔性膜。用于柔性膜的支撑结构包括用于使柔性膜与加工工具的容置模块的门或加工工具的门同步移动的同步机构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提供 平板 显示器 环境 隔离 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于支撑加工用的基板的容器，包括：底部、顶部及连接所述底部和所述顶部的侧板；设置在所述容器中的支撑结构，所述支撑结构构造成支撑所述容器内的所述基板，所述支撑结构具有横贯所述容器的宽度延伸的多行多个拉伸构件，每行的所述多个拉伸构件均构造成支撑一个基板，其中，一个所述侧板包括使得能够进入所述容器的可移动柔性膜，所述柔性膜的支撑结构具有用于使所述柔性膜与加工工具的容置模块的门同步移动的同步机构。
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